在日常的薄膜厚度測(cè)試過(guò)程中，我們會(huì)經(jīng)常遇到一種情況就是對(duì)標(biāo)不了。比如說(shuō)，與標(biāo)準(zhǔn)片對(duì)標(biāo)，測(cè)量數(shù)據(jù)差異大；又比如說(shuō)使用多個(gè)設(shè)備，與其他設(shè)備測(cè)量差異大；為什么會(huì)出現(xiàn)這種情況呢？

廣州德準(zhǔn)機(jī)電設(shè)備有限公司通過(guò)不斷地研究，發(fā)現(xiàn)有以下因素會(huì)影響對(duì)標(biāo)：

  1.測(cè)帽或者大理石面粘細(xì)微異物，用酒精粘無(wú)塵布放入測(cè)頭底下來(lái)回擦拭干凈。

  2.氣壓?jiǎn)栴}，壓是不是0.2-0.25兆帕之間，很多時(shí)候氣壓過(guò)大，導(dǎo)致皮圈位移無(wú)法正常工作。另外一點(diǎn)就是沒(méi)有用獨(dú)立的調(diào)節(jié)閥，多臺(tái)設(shè)備共用一個(gè)調(diào)節(jié)閥，所以氣壓偏大。

  3.檢查皮圈位置是否在正常位，主要通過(guò)鋼圈是否剛好壓住皮圈、皮圈開(kāi)模線是否成一條豎直線、底部與測(cè)頭是否貼合這三點(diǎn)排查。

  4.壓縮行程

  5.設(shè)置比例因子。很多時(shí)候儀器設(shè)置了比例因子，因此在與標(biāo)準(zhǔn)塊對(duì)標(biāo)時(shí)候，需要將比例因子調(diào)回1.0.

  6.用標(biāo)準(zhǔn)塊校準(zhǔn)。設(shè)備空測(cè)數(shù)據(jù)跳動(dòng)大，而且多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量的值是不穩(wěn)定的，比如，用多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量時(shí)候，比如500/1000/1200μm是測(cè)量的數(shù)值分別是502.5/1002.5/1202.5時(shí)候，多出的數(shù)值都是差不多多出2.5μm的時(shí)候是不需要校準(zhǔn)，相反的，如果測(cè)出來(lái)的數(shù)據(jù)比如像502.5/1005.6/1208.7μm的這樣差異大的數(shù)據(jù)時(shí)，就需要通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)塊校準(zhǔn)。

  7.如果測(cè)帽是平面測(cè)帽的話，還要考慮到測(cè)頭與大理石之間的平行度。

  8.如果測(cè)帽是大圓弧測(cè)帽的話，可以通過(guò)減緩測(cè)頭下落的速度，改變測(cè)帽對(duì)測(cè)膜的壓力變形，從而達(dá)到減少變形影響測(cè)量數(shù)據(jù)的效果。

因此對(duì)標(biāo)不了，不一定是設(shè)備的本身的問(wèn)題，我們需要通過(guò)對(duì)以上因素的排查，得出影響對(duì)標(biāo)的最終因素，找出問(wèn)題點(diǎn)解決問(wèn)題后，我們的數(shù)據(jù)測(cè)量就是準(zhǔn)確的。