一、測頭測力的大?。?/strong>
1.三豐常用測厚儀測力普遍在0.01N-0.25N之間
2.馬爾測厚儀常用測力在0.25-0.75N之間可調(diào)0.25N/0.5N/0.75N
二、測頭直徑大?。?/strong>決定了測頭與薄膜接觸面積)
1.三豐常用的自動的測頭直徑及形狀: ?0.45mm 針型測針 (硬質(zhì)合金)、?7.0mm 球型測針 (硬質(zhì)合金)、?10.5mm 球型測針 (硬質(zhì)合金)、其他。
2.馬爾測厚儀常用測頭直徑及形狀: ?5mm 平面型測針 (不銹鋼)、 ?8mm 平面型測針 (不銹鋼)
?10mm 平面型測針 (不銹鋼)、 ?11.3mm 平面型測針 (硬質(zhì)合金)、 ?12mm 平面型測針 (硬質(zhì)合金)
測量薄膜時,因為薄膜是軟質(zhì)材料受力不同會導(dǎo)致壓縮變形量不一致,由于各品牌測厚儀的工作原理不同,會有不同測力大小以及不同測頭接觸面積,所以會導(dǎo)致測量結(jié)果有差異,置于多少測力才能測出真正的厚度,需要匹配測力與測頭接觸面積的關(guān)系來選擇。
平測頭:通常來說,測頭與測量基準臺面的平行度在絕對平行(小于1um)的情況下,測力在0.1——1N之間,測頭直徑?5——?12mm之間的差異是不明顯的,但是測頭平行度在3um以上,測量結(jié)果差異就很明顯,不論是測力還是測頭直徑任何一個發(fā)生變化,對數(shù)據(jù)的影響都是巨大的。
圓弧測頭:測頭接觸面積小,對測力大小很敏感。需要匹配測力測試調(diào)整。
調(diào)整以上的參數(shù)的匹配性,就可以解決對標不一致的問題。