最近一次測試的機(jī)緣巧合發(fā)現(xiàn)我們的A3顯示器也能實現(xiàn)0.01μm分辨力的測量穩(wěn)定。這個對我們來說是一個很大的發(fā)現(xiàn),
此前一直因為國產(chǎn)顯示器有局限性,只能實現(xiàn)0.1μm測量穩(wěn)定,所以大部分高精度要求,分辨力0.01基本都是依靠進(jìn)口顯示器的。
但是就在前兩天,技術(shù)在測試校準(zhǔn)的時候做了一個大膽的嘗試,后面發(fā)現(xiàn)經(jīng)過這種測量方式校準(zhǔn)出來的A3顯示器,在分辨力為0.01μm的時候測量出的數(shù)據(jù)并沒有像之前那樣數(shù)據(jù)跳動大,而是在空測情況下能實現(xiàn)穩(wěn)定測量,經(jīng)過大量測試,發(fā)現(xiàn)測膜的時候也可以達(dá)到0.01μm分辨力的穩(wěn)定測量,重復(fù)性達(dá)到±0.2μm。
這意味著,我們以后都可以使用國產(chǎn)的A3顯示器去替代進(jìn)口的顯示器,用更低的價格,作出更高精度的測量效果。
同樣配置的測厚儀,A3顯示器是進(jìn)口顯示器價格的1/3,在測量效果精度差不多的情況下,絕對得性價比之王。在預(yù)算不足,但是又想提高精度的時候,A3是我們的最好選擇。
而A3顯示器也可以匹配我們的全自動工作臺,實現(xiàn)自動走膜,自動測量,自動上傳數(shù)據(jù)的功能。
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