關(guān)于薄膜行業(yè)測(cè)厚對(duì)標(biāo)的問(wèn)題，嚴(yán)格意義來(lái)講不是測(cè)厚設(shè)備本身精確度的問(wèn)題。我們?cè)谶@一方面綜合多個(gè)權(quán)威測(cè)量廠家的測(cè)厚設(shè)備包括德國(guó)馬爾、日本三豐、基恩士等等多家型號(hào)進(jìn)行測(cè)厚對(duì)比，在測(cè)頭測(cè)力、接觸面積大小基本一致的狀態(tài)下測(cè)厚數(shù)據(jù)相差小于0.2um,所以綜合以上，對(duì)標(biāo)數(shù)據(jù)是否一致，是多方面因素綜合的結(jié)果。

   一、影響測(cè)量結(jié)果大致有以下幾點(diǎn)：

   1、被測(cè)物質(zhì)在測(cè)試過(guò)程中的變形多少：變形越小越接近真實(shí)值

   2、被測(cè)物質(zhì)與測(cè)量臺(tái)面的貼合度：不影響形變的基礎(chǔ)上貼合度越緊密越接近真實(shí)值。

   二、影響被測(cè)物質(zhì)形變的因素：

   1、測(cè)頭與被測(cè)物質(zhì)的接觸面尺寸

   2、測(cè)力的大小

   3、傳感器下落的速度帶來(lái)附加的沖擊力

   三、影響被測(cè)物質(zhì)與測(cè)量臺(tái)面的貼合度因素：

   1、測(cè)頭與被測(cè)物質(zhì)的接觸面尺寸

   2、測(cè)力的大小

   四、如何降低測(cè)試過(guò)程中膜的形變和提高被測(cè)物與測(cè)量臺(tái)面的貼合度

   1、使用足夠大到能把被測(cè)物質(zhì)壓到貼合測(cè)量面的測(cè)頭。

   2、匹配適合的測(cè)力

   3、控制傳感器下落的速度。